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超高精度XYZ耦合平台
行业类别：
信息通信展
产品范围：
半导体设备及制造
应用领域：
光通信、信息处理/存储
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产品介绍:
适用于400G、800G、1.6T光通信耦合设备，用于基因测序、半导体精密检测设备，也可用于车载摄像头、激光雷达等AA设备的校准、对位以及拾放组装等工艺场景。
重复定位精度±50nm
稳态精度±10nm
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