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SYRUSpro DUV应用于光刻中的光学元件、窄带滤光片、长短波通滤光片、截止滤光片、分光膜、各种减反膜、高反膜
为光刻光学及深紫外（DUV）光学薄膜领域量身定制，尤其适用于248nm和193nm的深紫外（DUV）光学镀膜、专为深紫外（DUV）光学镀膜定制特殊的设备组件、适合深紫外（DUV）镀膜的真空系统

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