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AMICRA NANO
行业类别：
信息通信展
产品范围：
半导体设备及制造
应用领域：
光通信、信息处理/存储,半导体加工/制造
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产品介绍:
ASMPT NANO是一款超高精度芯粒与倒装芯片贴装设备，支持±0.2µm@3σ的贴装精度，广泛应用于硅光子、光器件封装、WLP及直接键合互连等领域。设备配备高精度光学对准系统、动态对准与自动偏移调节功能，适用于超小型、超薄芯片贴装。支持300mm高分辨率键合台，兼容激光焊接、共晶键合、UV固化、蘸胶与点胶等多工艺。系统内建HEPA过滤与离子净化洁净环境，模块化设计灵活配置，满足从研发到量产的多种封装需求。
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