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超高真空原子氢清洗和镀膜系统

行业类别:
红外技术及应用展
产品范围:
其他,请注明||化合物钝化
应用领域:
半导体加工/制造

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产品介绍:

激光巴条端面处理和镀膜工艺的提高,是高功率半导体激光器突破功率限制的两个重要因素。费勉仪器的超高真空解理钝化设备LFCP-600可以实现巴条在超高真空下的解理和钝化镀膜,获得最高品质的端面质量,但是产量有限。费勉仪器基于原子氢反应还原的巴条清洗钝化系统HLFP-800,可以对大气解理的巴条进行批量、自动化的原子氢清洗和钝化镀膜,能够在兼容现有产线、实现高产量的同时,提供接近真空解理的高端面质量,兼顾高质量和高产量的双重要求。

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