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真空解理镀膜系统可实现高功率激光器巴条的超高真空原位解理（Cleaving）、钝化(Passivation)和光学镀膜(Optical Coating)。在超高真空环境下进行激光二极管巴条的原位解理，可获得无缺陷、无污染的单晶解理面。解理后的巴条经过圆形传递腔室（Cluster Tool）传输到镀膜腔室进行钝化膜或光学膜蒸镀。全流程在优于2*E-10 torr的超高真空环境下进行，实现高质量器件生产。

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