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产品介绍:
生产型MBE系统，经济高效产量高
最大单片外延8inch衬底及7×3inch、4×4inch和14×2inch衬底，多片样品性能一致性高；MBE日常工作全自动化：样品传送，束流标定，外延生长等；与MBE800-cluster相比单个外延片成本降低40%左右。
最大单片外延8inch衬底及7×3inch、4×4inch和14×2inch衬底，多片样品性能一致性高；MBE日常工作全自动化：样品传送，束流标定，外延生长等；与MBE800-cluster相比单个外延片成本降低40%左右。
