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产品介绍:
准生产型MBE系统，生产效率显著提高
MBE日常工作全自动化：样品传送，束流标定，外延生长等，具备一定的批量化生产能力。
配备原位监测系统，实时监控生长状态
反射式高能电子衍射仪(RHEED)，束流规(BFM)，残余气体分析(RGA)，预留更多原位监测设备安装口，保留升级拓展能力。
MBE日常工作全自动化：样品传送，束流标定，外延生长等，具备一定的批量化生产能力。
配备原位监测系统，实时监控生长状态
反射式高能电子衍射仪(RHEED)，束流规(BFM)，残余气体分析(RGA)，预留更多原位监测设备安装口，保留升级拓展能力。
