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产品介绍:
PV-200C 全自动磁控生产线为多腔材料生长提供解决方案。其典型应用包括磁隧道结和自旋逻辑器件(GMR、TMR、MRAM)、微机电系统(MEMS)、有机发光器件 (OLED)、太阳能电池(PV、OPV)。
PV-200C 可实现多腔互联，衬底无需暴露在大气中，在真空中即可完成工艺流程。
PV-200C 拥有自动按顺序一次处理一个衬底或并行处理衬底以提高生产效率的能力。可实现衬底跟踪，全过程数据记录。
、Fermi 磁控软件有良好的人机交互界面，用户可以自定义工艺配方，各类传感器及
PV-200C 可实现多腔互联，衬底无需暴露在大气中，在真空中即可完成工艺流程。
PV-200C 拥有自动按顺序一次处理一个衬底或并行处理衬底以提高生产效率的能力。可实现衬底跟踪，全过程数据记录。
、Fermi 磁控软件有良好的人机交互界面，用户可以自定义工艺配方，各类传感器及
