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硅光双FA自动耦合设备

行业类别:
信息通信展
产品范围:
半导体设备及制造
应用领域:
先进制造

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产品介绍:

同步实现硅光芯片发射端(TX)与接收端(RX)FA耦合及UV固化。
功能:双六轴结构,实现双FA同时耦合,并分别进行点胶UV固化;
特点:采用压力传感器检测FA和硅光芯片的接触(小于10g力),实现芯片和FA间距微米级精度控制;高精度直线电机驱动,闭环精度25nm,力反馈高精度电动吸夹一体夹爪,可以实现FA的高精度稳定夹持。双FA耦合固化时间3-4min左右(不含UV时间)。

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