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产品介绍:
MS-WTW 晶圆检测分选设备,是一款针对膜对膜,集检测、分选与一体的自动化设备,具备高取放速度、高固晶精度、高检测精度、高洁净度等特点。
特点:
●大尺寸芯片挑拣,挑拣晶粒边长0.5mm~15.5mm
●兼容8寸、12寸Disco铁环
●对分选晶粒进行全面的AOI检测
●基于深度学习的缺陷检测+传统算法辅助,参数可自由设定卡控
●排列精度高且稳定,XY精度偏差≤25±μm,角度偏差≤±1°
●效率高,连续挑拣CT<200ms(产品尺寸3mm*3mm)
●挑拣成功率≥99.99%(去除外观不良)
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