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动态干涉仪

行业类别:
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围:
光学测量仪器
应用领域:
先进制造,半导体加工/制造

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产品介绍:

传统移相干涉仪使用压电元件等移动参考平面来获取干涉条纹的图像,并计算相位分布。这种方法的缺点是单次测量至少需要 100毫秒,期间干涉仪与测量样品之间会发生相对振动和空气波动,导致干涉条纹发生波动,从而增加测量误差。为了解决这些问题,动态干涉仪采用了“动态干涉测量”技术,无需机械移动参考平面,一次图像数据采集即可获得四帧相移干涉图。由于对相机的每个像素进行相移,可以稳定地收集数据,并且由于一次测量的时间可以缩短到 30 微秒,因此可以在干涉图像因振动等而发生变化之前的瞬间进行测量。

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