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高精度气浮平台
行业类别：
信息通信展
产品范围：
半导体设备及制造
应用领域：
先进制造,半导体加工/制造
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产品介绍:
适用于半导体超精密加工、超高精度和高稳定性检测的各种场景，如光刻机直写（EUV/DUV）、晶圆AOI检测、掩膜版对准、关键尺寸检、晶圆探针台等设备，也可用于2.5D/3D先进封装等超精密作业领域。
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