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产品介绍:
领聚科技的高速系列激光干涉仪,可支持多自由度运动台的002mm测量分辨力、27ms测量速度和10MHz动态更新率；
经典应用场景：光刻机高速高精度多自由度实时位置反馈，高端机床高精度多自由度位置测量；
该系列激光干涉系统可以实现对Keysight、ZYGO同类产品的原位替代。
经典应用场景：光刻机高速高精度多自由度实时位置反馈，高端机床高精度多自由度位置测量；
该系列激光干涉系统可以实现对Keysight、ZYGO同类产品的原位替代。
