微探头型激光干涉仪

领聚科技的微探头系列激光干涉仪，其超小尺寸微型化探头搭配柔性光纤，令精密测量更加方便，排除超精密测量使用难题；测量分辨力可达0.1nm，最大测量速度可达2m/s，探头尺寸可达最小Φ3.4mm*20mm。
该系列产品可分别用于低反射率物体测量、大量程线位移测量，大容差线/角位移测量，支持OEM灵活定制，提供高真空等兼容场景版本，为用户提供精准可靠的位置监测。
本产品对标德国Attocube、Smaract同类产品仪器。

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