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激光尺型激光干涉仪
行业类别:
激光技术及智能制造展
产品范围:
激光组件及辅助系统
应用领域:
先进制造,半导体加工/制造,传感及测试测量,高校/科研院所
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产品介绍:
领聚科技的激光尺系列激光干涉仪,具备高测量精度,节省安装空间,简化安装设定过程等特点;其位移分辨率可达38.6pm,最大测速可达1m/s。
该系列产品可广泛应用于需要对位移进行实时精密反惯及控制的工业制造过程中,支持灵活定制。提供高真空等兼容场景版本,为用户提供高分辨率的位置反馈。
本产品对标英国 Renishaw RLE系列激光尺产品。
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