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皮米级超精密激光干涉仪
行业类别:
激光技术及智能制造展
产品范围:
测试测量
应用领域:
先进制造,半导体加工/制造,传感及测试测量,高校/科研院所
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产品介绍:
领聚科技的皮米系列激光干涉仪,追求真空中的极致测量精度,噪声标准差低至20pm,周期非线性低至10pm,热稳定度优于30pm/mk,支持不同场景下的灵活定制,为用户提供系统设计、指标分析等全套解决方案。
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