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四工位超光滑抛光平台

行业类别:
光电子创新展
产品范围:
专精特新企业
应用领域:
先进制造,半导体加工/制造

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产品介绍:

四工位超光滑抛光平台堪称精密加工利器。其框架式与工件环悬浮结构,为设备稳定运行奠定基础。主轴大盘等由独立电机驱动,主动抛光效果出色。采用石英玻璃修正盘与金属工件环悬浮加工,实现超光滑效果。定制化自动供液系统,确保抛光液稳定供应。盘面精度优于00级,跳动极小。此外,还配备清洗水枪,方便及时清洁大盘,保持设备良好工作状态,全方位满足高精度抛光需求。

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