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大口径激光干涉仪
行业类别:
光电子创新展
产品范围:
专精特新企业
应用领域:
先进制造,半导体加工/制造,高校/科研院所
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产品介绍:
大口径激光干涉仪是检测大口径光学元件、光学系统最为准确、最为便捷的手段之一。300mm~800mm口径激光干涉仪系统精度优于63nm、重复性优于0.6nm,可实现对大口径光学元件表面光学质量高精度、高效率的测量以及对大口径光学材料内部质量的检测。同时配备有拼接测试技术。可接受定制大口径干涉仪生产服务。
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