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TruPlasma DC Series 4000 (G2)

行业类别:
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围:
光学镀膜技术及设备
应用领域:
先进制造,半导体加工/制造

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产品介绍:

TruPlasma DC 4000 (G2)系列专为金属,金属氧化物,绝缘材料的反应直流溅射而开发。电源以直流脉冲的形式输出,在高要求的膜层质量和大产能的PVD和PECVD工艺中证明了它的优势。

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