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线光谱共焦传感器(SG4025)
行业类别:
智能传感展
产品范围:
3D传感
应用领域:
光通信、信息处理/存储,先进制造,半导体加工/制造
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产品介绍:
◎轮廓数据数量:4096
◎Z轴测量范围:2.5mm
◎Z轴重复精度(镜面):0.25um
◎Z轴重复精度(单点):1um
◎Z轴线性度(镜面):±1um
◎Z轴线性度(单点):±2um
◎X轴测量范围:10.2mm
◎X轴轮廓数据间隔:2.5um
◎镜面兼容角度:±30°
◎最大扫描速度:18kHz
◎灵活的IO:1路可编程输入;1路可编程输出;1路差分编码器输入
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