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MLC 系列直写光刻
行业类别:
激光技术及智能制造展
产品范围:
激光设备
应用领域:
半导体加工/制造,高校/科研院所
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产品介绍:
MLC系列直写光刻机是由芯碁微装自主研发生产的一款精巧型光刻产品。该设备采用先进的数字光刻技术,无需掩模版,能够直接将版图信息转移到涂有光刻胶的衬底上。产品功能灵活、体积小、性价比高,专为各高校、实验室及研究机构量身打造。其主要应用产品包括MEMS、光波导、生物芯片、微探针、LED芯片、掩模板制作等。
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