主营产品:
ICP蚀刻系统
RIE系统(新型低成本)
硅深层RIE系统
ALD（原子层沉积）系统
双频PECVD系统
等离子体清洗机
产品:
公司简介:
Samco公司（TSE：6387）是Semiconductor And Materials Company的缩写，是半导体和相关行业加工设备的领先制造商，由Osamu Tsuji先生于1979年在日本京都创立。在过去的四十三年里，超过4,300套Samco系统已经在35个不同的国家安装和使用。Samco的设备和薄膜技术被广泛用于半导体器件的制造，包括高频滤波器、SiC/GaN功率器件、GaAs VCSELs、微型OLED/LED、CMOS图像传感器、MEMS、TSVs、高级封装等等。