上海微技术工业研究院的8英寸“超越摩尔”研发中试线建设累计投入约15亿元，其中设备投入约10亿元，洁净室面积5000平方米，可提供MEMS、硅光、压电、生物芯片等“超越摩尔”核心工艺技术，为设计、装备和材料等半导体公司提供高效的研发和中试服务，实现从研发到小批量生产无缝对接。平台已建立完善的客户知识产权管理与保护机制。

上海微技术工业研究院（SITRI）成立于2013年，由上海市科委、嘉定区和中国科学院上海微系统与信息技术研究所发起成立，是集研发、工程、产业化及培育于一体的研发与转化功能型平台。SITRI拥有全国首条8英寸“超越摩尔”（More than Moore）研发中试线，提供MEMS、硅光、压电、生物芯片等“超越摩尔”核心工艺技术，为设计、装备和材料等半导体公司提供高效的研发、中试和验证服务，实现从研发到小批量生产无缝对接。目前，SITRI已与国内外众多的产、学、研组织建立了紧密的合作关系，实现创新成果的高效率产业化，加速“超越摩尔”产业生态系统建立。