高性能离子源：RF射频离子源、中空阴极霍尔离子源、IBF专用离子源、其他特种离子源； 离子束蒸发镀膜机、离子束溅射镀膜机、离子束刻蚀机、离子束抛光机、离子束定制化机型方案等。

“博顿光电”是一家专业从事新型离子源及离子束装备关键技术研发、设计和制造的创新型高科技企业，博顿光电从源头核心技术和关键工艺突破，实现了高性能离子源及离子束装备的全国产化，产品广泛应用于离子束镀膜、刻蚀、抛光、清洗等纳米级及原子级超高精度加工处理工艺场景，已在消费电子、航天军工、光通信、泛半导体、新能源等多行业领域开拓200余家客户，多项产品均为国内首创，打破国外技术垄断，解决高端离子源及离子束设备领域的“卡脖子”问题。通过几年的推广应用，已成为目前国内该细分领域产品品类最全、出货量最大、工艺应用案例最多的全国产自主可控离子束微纳加工设备厂家。