深圳领聚科技有限公司

超精密激光干涉测量系统产品，包括高速系列、微探头系列、皮米系列、激光尺系列等不同类型的激光干涉仪产品。精密运动控制系统产品，包括高速可变光阑、纳米级运动模组。

公司简介:

深圳领聚科技有限公司，依托哈尔滨工业大学技术背景，专注于提供超精密光电测量以及超精密运动控制产品、定制与应用成套解决方案。其核心团队源自哈工大精密仪器工程研究院，在超精密激光干涉测量技术以及纳米级运动控制技术领域有超过二十年技术积淀，自主研发的高速激光干涉仪、皮米级激光干涉仪、微探头激光干涉仪、纳米级运动模组等核心产品，广泛应用于半导体制造、超精密加工、光学装调、微电子测量、科研仪器等领域，已成功交付数十家国内高端装备头部企业、国内外顶级计量机构等。公司已完成由北京头部机构领投的千万级融资。